真空泵是一種能夠抽除氣體分子，從而產生真空環境的設備。科恩科KNKE工程師介紹，真空泵在工業、科研和技術領域有著廣泛的應用。了解真空泵的分類有助于選擇合適的泵以滿足特定的應用需求。本文參照美國科恩科KNKE進口真空泵工程師在環境保護論壇的演講發言，為您講解真空泵依據性能特點、用途和工作原理進行分類的介紹。

一、按性能特點和用途分類

（1）高真空泵

高真空泵能夠達到10^-1至10^-5Pa的極限壓力，適用于高科技領域如半導體制造、質譜分析等。典型的高真空泵包括各種擴散泵和分子泵。

（2）低真空泵

低真空泵的極限壓力高于102Pa，常應用于食品加工、包裝、石化工業等領域。常見類型包括往復式、旋轉式、液環式、噴射式及吸附式真空泵。

（3）中真空泵

中真空泵的極限壓力在102至10^-1Pa之間，適用于冶金、化工、照明電源等領域。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式、多級旋轉機械泵及高速旋轉式機械泵。

（4）超高真空泵

超高真空泵的極限壓力低于10^-5Pa，主要應用于核物理、空間科學等領域。主要包括各種離子泵和低溫泵。

二、按工作原理和結構特點分類

（1）射流式真空泵

射流式真空泵沒有機械運動部件，主要通過噴嘴的高速射流來抽真空。此類泵結構簡單、工作可靠，適用于廣泛的應用場景。例如，水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水

噴射泵以及各種擴散泵。

（2）機械式容積真空泵

機械式容積真空泵通過機械運動來改變泵腔的工作容積，從而實現抽氣作用。這類泵的類型繁多，包括往復式真空泵、旋轉式機械泵（如旋片式、螺桿式、羅茨式、液環式等）。大多數機械式容積真空泵可單獨使用，除了機械增壓泵。

應用實例

1、高真空泵：在精密儀器如電子顯微鏡和粒子加速器中，高真空環境是必不可少的。

2、低真空泵：在食品加工行業，低真空泵用于保鮮包裝，延長食品的保質期。

3、中真空泵：在電燈泡制造過程中，中真空泵用于抽出燈泡內的空氣，注入特定氣體。

4、超高真空泵：在科學研究，如實驗室的高能物理實驗中，超高真空環境是實驗成功的關鍵。

5、射流式真空泵：在化學工業中，射流式真空泵用于蒸餾過程，提高效率和產量。

6、機械式容積真空泵：在醫療行業中，旋轉式真空泵被廣泛用于提供穩定的真空環境，如手術室的吸引系統。

真空泵的分類和選擇依賴于其應用的具體需求。了解不同類型的真空泵及其應用領域對于正確選擇和使用真空泵至關重要。隨著技術的發展，真空泵的設計和功能也在不斷進步，為各種工業和研究領域提供了強大的支持。